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Parylene系列材料之 Parylene HT

2021-07-27 来源:亚科官网

一、Parylene HT基本信息

      产品名称: 派瑞林HT粉

      中文名称:氟代二聚对二甲苯

      中文别名:派瑞林

     英文名称:Parylene HT

      纯度:≥98%

      CAS号:3345-29-7

      分子式:C16H8F8

      分子量:352.2219

      外观: 白色结晶

      熔点:240- 250 °C

      储存条件: 密封

      用途说明:用于微电子、半导体领域高纯度的钝化层和介质层;MEMS领域用作钝化、防护、润滑等涂层;在生物医学防腐及文物保护等领域作为隔离、固化、加固材料。

二、Parylene HT介绍

Parylene HT相比于parylene N,仅是亚甲基上的氢原子被F原子取代,从而显著提高parylene薄膜的抗氧化、抗紫外线、抗辐射能力。parylene HT薄膜具有防潮、防霉和防盐雾等诸多优良功能,被广泛应用于军事雷达、电子器件和文物保护等方面。

三、镀膜实例1

在使用真空泵以确保真空度的条件下,AF4在高温升华炉内气化,进入裂解炉后在高温下裂解成为单体自由基,然后进入沉积腔室进行自由基聚合反应,形成parylene HT薄膜。镀膜工艺参数:升华炉中的压力控制在近于真空的13.30 Pa左右,裂解温度控制在650℃,沉积腔室压力控制在约2.66-5.32 Pa,基体温度为0℃,沉积速率约为1.5×10-8 cm/min。

四、parylene HT薄膜性能

表1. parylene HT的热学性能

熔点

>500℃

T5 Point

(模量=690 Mpa)

377℃

T4 Point

(模量=70 Mpa)

>450℃

连续使用温度

350℃

短期使用温度

450℃

25℃线性热膨胀系数

36 ppm

表2. parylene HT的力学性能和阻隔性能

力学性能

ASTM D882

拉伸模量

2.5 Gpa

抗屈强度

48 Mpa

抗张强度

50 Mpa

伸长率

2%

断裂伸长

10%

阻隔性能

ASTM E96

水汽渗透(37℃,10μm)

20 g/m2·day

表3. parylene HT的电学性能

介电常数

ASTM D150

60Hz

2.21

1kHz

2.20

1MHz

2.17

介电损耗

ASTM D150

60Hz

<0.0002

1kHz

0.0020

1MHz

0.0010

介电强度

5400 V/mil

体积电阻率(23℃,50%RH)

ASTM D257

2.0×1017Ω·cm

表面电阻率

(23℃,50%RH)

ASTM D257

5.0×1015Ω


参考文献:1.parylene HT薄膜原料制备工艺研究[D],东南大学,2016




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