CAS：593-85-1|胍盐在化学机械抛光液中的应用

产品名称：碳酸胍
英文名称：Guanidine carbonate
CAS：593-85-1
分子式：C2H10N6H2CO3
结构式：

产品简介
       碳酸胍是一种用途极其广泛的有机合成原料和分析试剂，主要用于氨基树脂的pH调节剂、抗氧剂、树脂稳定剂和肥皂等，也用作水泥薄浆剂，表面活性剂的添加剂。也可用作洗涤剂的耐湿剂和增效剂，化妆品原料等。
碳酸胍应用领域
      随着互补金属氧化物半导体（CMOS）工艺开发的发展，器件的特征尺寸逐渐缩小，电路密度变的更加复杂，由此带来的设计和制造变得愈加困难，互连过程中的信号拥堵进一步加剧，为了延续摩尔定律，解决铜互连的延迟问题，满足性能，频宽和功耗的要求，3D IC集成技术逐渐发展起来。在垂直方向将芯片叠层，穿过有源电路直接实现高效互连，由于大大缩短了互联线的长度，不仅提高了电路性能，还进一步降低了功耗。硅通孔（TSV）技术采用化学机械抛光工艺去除金属铜。TSV制程的集成面临一个共同的难题，即TSV制作都需要打通不同材料层，包括硅材料、IC中各种绝缘或导电的薄膜层。为了提高三维集成技术的经济性，就需要在化学机械抛光过程中具有较高的去除速率和合适的抛光选择比，目前针对TSV技术的专用化学机械抛光液还没有商业化的产品报道，尤其是TSV阻挡层的抛光液。

       CN103834306B专利提出了一种用于硅通孔平坦化的化学机械抛光液，解决的技术问题是满足了硅通孔平坦化过程中二氧化硅对氮化硅的去除速率选择比较高的工艺要求，防止金属抛光过程中产生的腐蚀，抛光后晶圆表面缺陷和污染物少。
       专利中化学机械抛光液主要包含磨料、唑类化合物、络合剂、阴离子表面活性剂、胍、氧化剂6部分组成。其中，阴离子表面活性剂为烷基磷酸酯盐表面活性剂，胍可以为硝酸胍，硫酸胍，磷酸胍，碳酸胍，盐酸胍，盐酸二甲双胍和盐酸吗啉胍中的一种或多种。

参考文献

CN103834306B 一种用于硅通孔平坦化的化学机械抛光液.